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潔凈室氣密測試的檢測步驟
日期：2026-07-23 07:05
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摘要：
1.將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩定，記錄壓力衰減測試過程中室內溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的小示值不宜大于0．1℃)。
2.關閉所測潔凈室圍護結構上的門、傳遞窗等，關閉回風管(或排風管)上的氣密閥門，不得在風口上加其他密封措施，并維持各種孔洞縫隙的密封現狀。
3.開啟送風，使室內壓力上升至已商定的測試壓力(壓力計量程至少為測試壓力的1．5倍，小示值不宜大于10Pa)，壓力穩定后，停止送風，關閉送風閥門。
4.或反之關閉送風管上的閥門，如果送風管上無閥或閥不嚴，應在送風口上用塑料膜加盲板的方法封住風口，開啟排風，使室內壓力下降至已商定的測試壓力，壓力穩定后，停止排風，關閉排風氣密閥門。
5.從停上送(排)風起，記錄壓力隨時間衰減的數據，每1min記錄1次壓差和溫度，連續記錄至室內壓力下降至初始壓力的一半時止。
6.測試結束后慢慢打開風閥，使房間壓力恢復到正常狀態。
7.如果需要進行重復測試，20min后進行。